SF6氣體具有穩定的理化性能、優良的絕緣性能及優異的滅弧性能，在高壓電器設備中被廣泛使用。

SF6氣體檢漏

氣體泄漏的原因主要是在密封面、焊縫和管路接頭處有裂縫或密封不嚴。對SF6氣體進行檢漏須使用專用的檢漏儀，如HZJL-SC513氣體檢漏儀。

如果有大量SF6氣體泄漏，那么操作人員不能停留在離泄漏點10m以內的地點。直至采取措施泄漏停止后，方能進入該區域。如果電器內部發生故障，在容器內肯定存有SF6電弧分解物，在打開外殼進行清除以后，若檢測中可能接觸被污染的部件，都必須使用防毒面具，并穿戴好防護工作服。

為了保證進入SF斷路器室內的工作人員安全，必須對室內進行通風，按要求，空氣中氧氣含量濃度不應低于18%。

在檢漏中，要嚴格按照產品使用說明書執行。檢漏儀探頭不允許長時間處在高濃度SF中，但在工作中往往被忽略，探頭一旦觸及高濃度SF6氣體時，表針立即為滿刻度，報警強烈。遇到這種情況應立即將探頭離開并放到潔凈區，待表針恢復正常后再檢漏。

SF6含水量檢測

斷路器對SF6的純度及含水量都有嚴格的要求。在內部閃絡的情況下，會生成多種SF6分解產物，在正常運行中大氣中的水分也會滲入氣體絕緣設備中。在較高的氣壓下,過量的水分對氣體絕緣設備中固體絕緣件表面閃絡電壓的影響嚴重，甚至會導致內部閃絡事故。有些活性雜質，如HF、SOz等，對氣體絕緣設備中的各種構件會產生腐蝕作用。

某些垢分解產物還具有毒性，一旦泄漏出來會污染環境,影響工作人員的健康。過量的水分會使氣體絕緣設備的絕緣強度下降。因此，首先應保證充入電氣設備的SF6氣體合格，在充氣操作過程中，嚴防水分進入氣室。

我國有關規程規定，斷路器用新的SF6氣體，水分含量須<8x10^-6。

運行中斷路器內SF6氣體的水分含量，機械特性試驗后測量氣體的含水量不應超過150x10^-6。